www.yabo.com金融界2024年12月11日消息，国家知识产权局信息显示，泰州市永增金属制品有限公司申请一项名为“一种半导体设备零部件的清洁装置”的专利，公开号 CN 119098441 A，申请日期为 2024 年 8 月。

　　专利摘要显示，本发明公开了一种半导体设备零部件的清洁装置，包括支架，所述支架的底部固定连接有清洁箱，所述清洁箱的外表面滑动连接有密封板，还包括：吹气管，该吹气管固定连接在清洁箱底部，所述清洁箱的内腔底部固定连接有输送带；清洁组件，该清洁组件固定连接在清洁箱顶部；冷凝组件，该冷凝组件固定连接在清洁箱外表面，所述冷凝组件的外表面固定连接有固定板，所述冷凝组件远离固定板的位置连通有过滤组件，本发明涉及半导体设备技术领域。该半导体设备零部件的清洁装置，避免了清洁箱进行零部件清洁时发生气体泄漏的情况，便于吹气管在设备启动前后进行灰尘的清除，防止清洁箱内部因长时间清洁导致脏污，使得冷凝组件能够对清洁气体进行冷凝处理。

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